- кассета для полупроводниковых пластин
- 1) Engineering: wafer carrier, wafer cartridge, wafer holder2) Microelectronics: wafer basket, wafer cassette, wafer tray, wafer-processing container
Универсальный русско-английский словарь. Академик.ру. 2011.
Универсальный русско-английский словарь. Академик.ру. 2011.
SMIF — Создатель: Hewlett Packard Создан: 1980 е годы SMIF, Standard Mechanical InterFace (Стандартный Механический ИнтерФейс) стандарт SEMI E19 1105[1] на механическое оборудование для автоматизированных микроэлектронных производств. История … Википедия